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平板显示净化解决方案

先进的生产方法通常要求非常洁净的气氛情况,很多情况下,气氛要求还可能更加严厉。LED和薄膜晶体管彩色液晶显示器(TFT-LCD) 的生产工艺较纷乱,技术难度和成本均较高,对生产情况要求也较高,其工艺进程薄膜晶体管有矩阵工艺与大范围集成电路生产工艺相似;

平板显示的特性是:这种显示的装置本身就是一块平板,没有一般显示器中的电子束管,作为大屏幕显示时不存在投射距离问题,因此,是一种比较理想的显示。由于它多采纳矩阵操纵,所以又叫做矩阵操纵平板显示或简称为矩阵显示。它所操纵的显示原料有:场致发光原料、发光二极管、等离子、液晶等。

平板显示的生产工艺对情况的气氛洁净度等级、温湿度、防微振和高纯物质的供应等均有较严厉的要求:生产情况要有一万级到十万级的净化车间,并且对温度和湿度都有明确操纵;各洁净室气氛洁净度等级:操纵粒子粒径为0.3μm。

 

污染物

来源

引发问题

解决方案

粉尘、 微细盐粒子

气氛

造成光学镜片雾

洁净室HVAC系统的新风机组加化学过滤功能段,在FFU加化学滤网

 

局部成交客户

 

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