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别的微电子行业净化解决方案

 

少量未处置的微粒或者气体分子可能严峻影响一些工艺流程。请想象一下污染的气氛对半导体、制药和其它高度敏锐的制作工艺流程可能发生什么样的危害。

 

先进的生产方法通常要求非常洁净的气氛情况,很多情况下,气氛要求还可能更加严厉。例如,电子行业要求非常洁净的制作情况,以便生产大范围集成电路。由于电路板宽度可能只有1微米或者更少,这就要求将三维微粒污染操纵在0.1微米以内。

 

洁净室的重点就是过滤设施,但依据差别的洁净室类型,需要考虑使用差别的气氛过滤设施。

 

凭借15年以上的微电子和半导体污染操纵技术行业经验以及对“国际半导体科技进程”的参与,我公司完全能够提供好的解决方案,实现先进的微粒和AMC操纵。

 

我公司在已通过ISO9000认证并严厉操纵生产情况的工厂内专门生产HEPA/ULPA过滤器。我们在环球多个生产基地同时生产同一类型的气氛过滤器和风淋室。大范围的生产能力确保我们的产品能够随时满足世界各地的需求。

 

污染物

来源

引发问题

解决方案

粉尘、 微细盐粒子

气氛

造成微电子脱落或者影响精度

洁净室HVAC系统的新风机组加化学过滤功能段,在FFU加化学滤网

 

 局部成交客户:

 
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